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洁净室二次配GASHOOK-UP洁净室安装

HOOK UP 乃是藉由连接以传输UTILITIES使机台达到预期的功能。HOOK  UP是将厂务提供的 UTILITIES ( 如水,电,气,***等),经由预留之UTILITIES连接点( PORT OR STICK),藉由管路及电缆线连接至机台及其附属设(SUBUNITS)。

机台使用这些 UTILITIES,达成其所被付予的制程需求并将机台使用后,所产生之可回收水或废弃物(如废水,废气等),经由管路连接至系统预留接点,再传送到厂务回收系统或废水废气处理系统。HOOKUP 项目主要包括∶CAD，MOVE IN ，CORE DRILL，SEI***IC ，VACUUM，GAS， CHEMICAL  D.I ，PCW，CW，EXHAUST，ELECTRIC，DRAIN.

在半导体厂，所谓气体管路的Hook-UP（配管衔接）以BukGas（一般性气体如CDA、GN2、PN2、PO2、PHE、PAR、H2等）而言，自供气源之气体存贮槽出口点经主管线（MainPiping）至次主管线（Sub-MainPiping）之TakeOff点称为一次配（SP1Hook-up），自TakeOff出口点至机台（Tool）或设备（Equipment）的入口点，谓之二次配（SP2Hook-up）。

以SpecialtyGas（特殊性气体如：腐蚀性、毒性、性、加热气体等之气体）而言其供气源为气柜（GasCabinet）。自G/C出口点至VMB（Valve Mainfold Box.多功能阀箱）或VMP（Valve Mainfold Panel多功能阀盘）之一次测（Primary）入口点，称为一次配（SP1Hook-up），由VMB或VMP Stick之二次侧（Secondary）出口点至机台入口点谓之二次配（SP2Hook-up）。

洁净室改造时需要注意的电路问题洁净室安装

洁净室安装洁净室改造时需要注意的电路问题

净化车间在改造时面向的各种细节都需要做好严格的管控，上几节讲到了水路、气压、温湿度等等，本节我们将着重来讲解洁净室改造时的电路管理问题。现有的供电系统可能也需要对容量和应急发电机这两部分进行改进。现有的供电系统可能无法为洁净实验室设施提供可靠的应急电源，因为这超出了保证生命安全要求的法定应急供电范围。因此，可能需要安装不间断电源来保证关键的工艺设备能安全地关机。

洁净室系统洁净室安装

洁净室安装压差相邻洁净区房间之间的压差应为10-15帕斯卡（指导值）。--EUcGMP（欧盟）

洁净区与非洁净区之间、不同等级洁净区之间的压差应不低于10帕斯卡，相同洁净度等级不同功能的操作间之间应保持适当的压差梯度，以防止污染和交叉污染。--新版GMP

相邻洁净区房间之间的压差应为12.5帕斯卡。--FDA气流***及自净应证明各种气流方式无导致污染的风险，例如，应采取适当的措施确保气流不会将操作或设备以及操作人员散发的粒子吹向洁净要求高的区域。生产操作全部结束，操作人员撤离生现场并经15～20分钟（指导值）自净后，洁净区的应达到 “静态”标准。

静压箱的作用及选型

静压箱又称稳压室，连接送风口的大空间箱体。气流在此空间中流速降低趋近于零，动压转化为静压，且各点静压近似相同，使送风口达到均匀送风的效果。（有的装到风机吸入口附近，同样也是起到降低风速作用，风机吸入口的风速过大，防止气流对叶轮的冲击。）

静压箱是一种传统的通风设施，常常被应用于恒温、恒湿和洁净室以及环境气候室这类对室内温度、湿度、洁净度和气流分布均匀性有要求的空调风系统中，一般的空调都是零静压的，用不到静压箱，只有功率大的空调如5HP送风距离远，所以它即可用来减少通风、空调系统中的噪声，又可获得均匀的静压出风，减少动压损失，是送风系统减少动压、增加静压、稳定气流和减少气流振动的一种必要的配件，一般使用镀锌钢板来制作，可使送风效果更加理想。